セラミック製の高精度ステージをベースにした高剛性ステージシステム
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HRSシステム HRSシステム
ナノレゾリューションステージシステム
部品製作・加工
システム商品・装置
HRSシステム
HRSシステム一軸ステージ HRSシステムX-Yステージ
セラミック製の高精度ステージに、パルスモータによる独自開発のフィードバック制御システムを使い10nm相対位置決め機能で高精度な繰返し精度を達成いたしました。セラミックをステージのベースとして使用することで、経年変化を抑え、高剛性且、真空、非磁性にも対応していけます。
ストローク20、50、100mmをラインナップ。
一軸ステージ資料
一軸ステージ資料
X-Yステージ資料
X-Yステージ資料
仕様
型式 A B C D E F G H I J K L M N O P Q
HRS-0020 131.5 60 31 60 28 32 M3 3.5 50 50 4 3.5 50 16.5 24 44.5 59
HRS-0050 242.5 120 40 120 34 50 M4 5.5 50 100 6 5.5 100 20 28 54 74
HRS-0100 322.5 120 40 120 34 50 M4 5.5 50 100 6 5.5 100 20 28 54 74
単位mm
型式 HRS-0020 HRS-0050 HRS-0100
テーブルサイズ 60×60mm 120×120mm 120×120mm
テーブル移動量 20mm 50mm 100mm
繰り返し位置決め精度 制御指令による±20nm
機械的繰り返し位置決め精度 ±100nm(A5529によるガイド計測値)
最小分解能 ±10nm
最大移動速度 10mm/sec
ボールネジ φ4,リード1.0mm φ6,リード1.0mm φ6,リード1.0mm
移動ガイド クロスローラガイド
駆動モータ 5相ステッピングモータ
リミットスイッチ フォト・マイクロセンサ
耐荷重 5kg 10kg 10kg
質量 1.8kg 2.5kg 3.0kg
主材料 アルミナセラミックス
内蔵スケール信号周期 4μm
HRS システム制御
■ インターフェース仕様
TCP/IP Ethernet 10/100 Base-T
USB USB-2 :B Type
RS-232C 96000,19200,38,400:D-sub 9pin
8Bit,1Stop-bit,Non-flow,control
汎用I/O 入力:4ボート フォトアイソレータ入力
出力:4ボート オープンコレクタ出力
ジョイスティック 1ボート 専用コントローラ
HRSシステムコントロールボックス
HRSシステム
コントロールボックス
■ 一般仕様
電源 AC100V±10%(50/60Hz)3A
周囲温度/湿度(動作時) 10-40℃/20-80%RH(結露不可)
周囲温度/湿度(保管時) 0-60℃/20-80%RH(結露不可)
外形寸法(W×D×H)mm 2軸:210×280×90
4軸:260×350×100
重量 2軸:5kg
4軸:6kg
付属品 AC電源ケーブル、保証書、取り扱い説明書、CD-ROM