セラミック製の高精度ステージに、パルスモータによる独自開発のフィードバック制御システムを使い10nm相対位置決め機能で高精度な繰返し精度を達成いたしました。
セラミックをステージのベースとして使用することで、経年変化を抑え、高剛性且、真空、非磁性にも対応していけます。
ストローク20、50、100mmをラインナップ。

セラミックステージに駆動分解能1nmの摺動型超音波モータを取り付けました。従来のボールネジ、リニア駆動に無い、静止状態での安定性及び、速度ムラを極限までおさえ安定した走りを体感下さい。
低速領域での運動性にも優れ、10nm/sでの運用も可能です。
ストロークは50mm。近日中に20mmもラインナップ予定。

非接触及び真直性にすぐれたエアスライド10nmフィードバックステージシステム。
近日発売予定。

• 真空・非磁性へのご対応は可能ですのでご相談下さい。
• セラミックエアスライドステージもあります。
• 高密度X-Yステージも承ります。
• カスタマイズ品ご相談下さい。