超精密セラミックステージシステム・ナノレゾリューションステージシステムの紹介
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ナノレゾリューションステージシステム ナノレゾリューションステージシステム
超精密セラミックステージシステム
部品製作・加工
システム商品・装置
ナノレゾリューションステージ
ナノレゾリューションステージシステムイメージ
製品のご紹介
小型ステージをセラミックスで作り、リニヤエンコーダも内蔵しています。
ステッピングモータとボールネジ駆動でありながら、10nm、100nm分解能で制御をすることが可能です。
オープンループ制御からクローズドループ制御へ切り替えてみたいという方、是非一度、当社へご相談下さい。
HRSシステム
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セラミック製の高精度ステージに、パルスモータによる独自開発のフィードバック制御システムを使い10nm相対位置決め機能で高精度な繰返し精度を達成いたしました。
セラミックをステージのベースとして使用することで、経年変化を抑え、高剛性且、真空、非磁性にも対応していけます。
ストローク20、50、100mmをラインナップ。

URSシステム
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セラミックステージに駆動分解能1nmの摺動型超音波モータを取り付けました。従来のボールネジ、リニア駆動に無い、静止状態での安定性及び、速度ムラを極限までおさえ安定した走りを体感下さい。
低速領域での運動性にも優れ、10nm/sでの運用も可能です。
ストロークは50mm。近日中に20mmもラインナップ予定。

ARSシステム ARSシステム

非接触及び真直性にすぐれたエアスライド10nmフィードバックステージシステム。
近日発売予定。

  • 真空・非磁性へのご対応は可能ですのでご相談下さい。
  • セラミックエアスライドステージもあります。
  • 高密度X-Yステージも承ります。
  • カスタマイズ品ご相談下さい。
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