真直度0.2μm以下の高精度!エアスライド・モーター・スケールの組合せで、真直・クリーン・高剛性・高特性を様々な分野へ。
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ナノレゾリューションステージ RCセラミックエアスライド
エアスライド・モーター・スケールの組合せで、真直・クリーン・高剛性・高特性を様々な分野へ
部品製作・加工
システム商品・装置
RCセラミックエアスライド
RCセラミックエアスライド
製品のご紹介
クロスローラガイド、LMガイドを使っていたステージシステムを更に高精度化する事が出来ます。小型のエアスライドをお探しの方、是非一度、当社へご相談下さい。
セラミックエアスライド(単品)
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寸法や、真直データ(参考値)等の詳細。

システム商品
RC10nm:RC100nmフィードバックステージ(RC-BST)
RC10nm:RC100nmフィードバックステージ(RC-BST)詳細ページへ

独自開発のコントローラーによりパルスモーターをスケールからの(10nm:100nm)フィードバック制御を行うことで、高精度な繰り返し位置決め制度を実現できます。
また、エアースライドでありながらボールネジの影響を受けないような工夫をし、滑らかな走りが可能です。
多軸の専用コントローラーを仕様することで、複数台の同時制御が可能です。

リニアステージシステム(RC-LST)
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定番のリニアシステムでお気軽にご使用いただけます。

スタンダードステージ(駆動なし)(RC-T)
スタンダードステージ(駆動なし)(RC-T)詳細へ

選定しやすいように、石定盤とテーブルのセットにしました。
お客様にあった追加工でお客様のご満足を作り上げてください。