セラミックエアスライドシステム製品・フィードバックステージの詳細
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ホーム > 製品情報 > セラミックエアスライド > RCセラミックエアスライド > RC10nm:RC100nmフィードバックステージ
ナノレゾリューションステージ フィードバックステージ(RC-BST)
セラミックエアスライドシステム製品
部品製作・加工
システム商品・装置
RCフィードバックステージ
フィードバックステージ(RC-BST) 独自開発のコントローラーによりパルスモーターをスケールからの(10nm:100nm)フィードバック制御を行うことで、高精度な繰り返し位置決め精度を実現できます。

また、エアースライドでありながらボールネジの影響を受けないような工夫をし、滑らかな走りが可能です。

多軸の専用コントローラーを仕様することで、複数台の同時制御が可能です。
性能
位置決め精度 0.5μm/ストローク
繰り返し位置決め精度 ±0.1μm
最適速度 10mm/s
ステージ
オーダー番号 型式 真直度
(μm/ストローク)
最大積載荷量 ストローク
52225 2RC-BST-025 0.1μm 3kgf 25mm
52250 2RC-BST-050 0.2μm 3kgf 50mm
52325 3RC-BST-025 0.1μm 7kgf 25mm
32350 3RC-BST-050 0.1μm 7kgf 50mm
52300 3RC-BST-100 0.2μm 13kgf 100mm
システム制御
■ インターフェース仕様
TCP/IP Ethernet 10/100 Base-T
USB USB-2 :B Type
RS-232C 96000,19200,38,400:D-sub 9pin
8Bit,1Stop-bit,Non-flow,control
汎用I/O 入力:4ボート フォトアイソレータ入力
出力:4ボート オープンコレクタ出力
ジョイスティック 1ボート 専用コントローラ
HRSシステムコントロールボックス
HRSシステム
コントロールボックス
■ 一般仕様
電源 AC100V±10%(50/60Hz)3A
周囲温度/湿度(動作時) 10-40℃/20-80%RH(結露不可)
周囲温度/湿度(保管時) 0-60℃/20-80%RH(結露不可)
外形寸法(W×D×H)mm 2軸:210×280×90
4軸:260×350×100
重量 2軸:5kg
4軸:6kg
付属品 AC電源ケーブル、保証書、取り扱い説明書、CD-ROM
■ 2軸用 専用コントローラー
オーダー番号 指令分解能 型式
52002 100nm SA03-0002
52003 10nm SA03-0003
■ 4軸用 専用コントローラー
オーダー番号 指令分解能 型式
52004 100nm SA03-0004
52005 10nm SA03-0005