セラミックエアスライドシステム製品・スタンダードステージの詳細
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ナノレゾリューションステージシステム スタンダードステージ(駆動なし)(RC-T)
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スタンダードステージ
スタンダードステージ(駆動なし)(RC-T) スタンダードステージ(駆動なし)(RC-T)
選定しやすいように石定盤とテーブルのセットにしました。
お客様にあった追加工でお客様のご満足を作り上げてください。
※真直度は無負荷時の計測値です
オーダー番号 型式 真直度
(μm/ストローク)
最大積載荷量 ストローク
54212 2RC-1T-025 0.1μm 2kgf 25mm
54215 2RC-1T-050 0.2μm 2kgf 50mm
54210 2RC-1T-100 0.3μm 4kgf 100mm
54312 3RC-1T-025 0.1μm 4kgf 25mm
54315 3RC-1T-050 0.1μm 4kgf 50mm
54310 3RC-1T-100 0.2μm 8kgf 100mm
オーダー番号 型式 真直度
(μm/ストローク)
最大積載荷量 ストローク
54222 2RC-2T-025 0.1μm 3kgf 25mm
54225 2RC-2T-050 0.2μm 3kgf 50mm
54220 2RC-2T-100 0.35μm 7kgf 100mm
54322 3RC-2T-025 0.1μm 7kgf 25mm
54325 3RC-2T-050 0.1μm 7kgf 50mm
54320 3RC-2T-100 0.2μm 13kgf 100mm
※ブッシュ特注にて追加いたします。
スタンダードステージ真直データ(参考値)(レーザー測定データ)
型式 ピッチング ヨーイング
2RC-2T-050 2RC-2T-050レーザー測定データ(真直データ参考値)ピッチング
真直度80nm
2RC-2T-050レーザー測定データ(真直データ参考値)ヨーイング
真直度40nm
3RC-2T-050 3RC-2T-050レーザー測定データ(真直データ参考値)ピッチング
真直度30nm
3RC-2T-050レーザー測定データ(真直データ参考値)ヨーイング
真直度60nm