真直度0.2μm以下の高精度。エアスライド・モーター・スケールの組合せで真直・クリーン・高剛性を様々な分野へ
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ナノレゾリューションステージ RCセラミックエアスライド単品詳細データ
エアスライド・モーター・スケールの組合せで、真直・クリーン・高剛性・高特性を様々な分野へ
部品製作・加工
システム商品・装置
単品詳細
RCセラミックエアスライド単品一覧
外寸資料
RCセラミックエアスライド外寸
型式 ストローク A B C D E F G H I J K
2RC025 25 20 40 50 70 140 125 10 15 25 10 34
2RC050 50 20 40 50 70 160 145 10 15 25 10 34
2RC100 100 20 40 50 120 260 245 10 15 50 10 40
3RC025 25 30 50 60 70 140 125 14 22 25 14 34
3RC050 50 30 50 60 70 160 145 14 22 25 14 34
3RC100 100 30 50 60 120 260 245 14 22 50 14 40
測定方法と定義
  1. 剛性:テーブル中心に一定負荷をかけ、1μm変位した時の負荷量を換算して表す。
    (ガイド軸の剛性は除く)
  2. 負荷容量:テーブル中心に負荷をかけ、テーブルとガイド軸が接触した時の負荷量を表す。
  3. 真直度:レーザー測定システムにて測定
    (角度測定)
    ;JISB6191 測定法に基づく測定
測定方法
真直データ(参考値)(無負荷時の測定値)
型式 ピッチング ヨーイング
2RC025 2RC025真直データ参考値(ピッチング)
真直度10nm
2RC025真直データ参考値(ヨーイング)
真直度10nm
2RC050 2RC050真直データ参考値(ピッチング)
真直度120nm
2RC050真直データ参考値(ヨーイング)
真直度80nm
2RC100 2RC100真直データ参考値(ピッチング)
真直度180nm
2RC100真直データ参考値(ヨーイング)
真直度90nm
3RC025 3RC025真直データ参考値(ピッチング)
真直度10nm
3RC025真直データ参考値(ヨーイング)
真直度10nm
3RC050 3RC050真直データ参考値(ピッチング)
真直度20nm
3RC050真直データ参考値(ヨーイング)
真直度60nm
3RC100 3RC100真直データ参考値(ピッチング)
真直度70nm
3RC100真直データ参考値(ヨーイング)
真直度70nm
その他資料
オーダー番号 型式 ストローク
(mm)
剛性
(kgf/μm)
最大積載荷重
(kgf)
空気消費流量
(NL/min)
真直度
(μm/ストローク)
12025 2RC025 25 上下:1.0 2 8以下 上下:0.1
左右:0.8 左右:0.1
12050 2RC050 50 上下:1.0 2 8以下 上下:0.2
左右:0.8 左右:0.1
12100 2RC100 100 上下:2.0 4 13以下 上下:0.2
左右:1.5 左右:0.2
13025 3RC025 25 上下:2.0 4 10以下 上下:0.1
左右:1.5 左右:0.1
13050 3RC050 50 上下:2.0 4 10以下 上下:0.1
左右:1.5 左右:0.1
13100 3RC100 100 上下:4.0 8 15以下 上下:0.2
左右:3.0 左右:0.2
※無負荷時の測定値