セラミックエアスライド、超精密超音波モーター、超精密制御技術、レーザー干渉計の組合せで、超精密X-Yステージへ
株式会社ピーエムティートップページへ
株式会社ピーエムティーホームページへ 製品情報ページへ 会社情報へ 採用情報へ お問い合わせ サイトマップ
ホーム > 製品情報 > セラミックエアスライド > 超精密X-Yステージ
ナノレゾリューションステージ 超精密X-Yステージ(型式:TX2-Y-10)
ご要望に合わせたステージを製作いたします
部品製作・加工
システム商品・装置
超精密X-Yステージ
超精密X-Yステージイメージ
製品のご紹介
高分解能位置決めはもとより、ヨーイング、ピッチング、ローリングといったステージの姿勢変化も見逃せないアプリケーションに最適です。
ナノステージ参考例
超精密X-Yステージ 超精密X-Yステージ
■ レーザー干渉計:RLE10レーザー
レーザー干渉計RLE10レーザー レーザー干渉技術を応用している高精度、高分解能、非接触を実現できるポジションフィードバックシステムです。
アッペ誤差等の、リニアエンコーダーでは取り除くことが困難な誤差成分を取り除くことができます。
真直参考データ
■ Y軸真直50nm/100mm(フルストローク) ■ X軸真直30nm/100mm(フルストローク)
Y軸真直参考データ X軸真直参考データ
(アジレントテクノロジー社製 A5529による計測)
仕様
外形寸法 幅570mm×奥行き460mm×高さ300mm(石定盤含む)
トップテーブルサイズ 110mm×110mm
テーブルストローク X-Y軸100mm
搭載可能荷重 10kg
重量 200kg
ガイド セラミックエアー制圧ガイド
駆動源 同期式圧電アクチュエーター/位置決め分解能1nm以下
最高速度 〜150mm/sec
レーザー干渉計 RLE10レーザースケール/分解能10nm(レニショー(株)製)
ご要望に合わせたステージを製作いたします。