ピエゾアクチュエータと赤外線透過画像処理により、真空チャンバー中でサブミクロンのアライメントを達成します
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ホーム > 製品情報 > 接合 > 真空アライメント機能付き陽極接合装置ウエハーアライナー(WA-9000)
Bonding System ウエハーアライメント接合装置(型式:WA-9000)
ウエハー真空封止用陽極接合装置
部品製作・加工
システム商品・装置

ウエハーアライメント接合装置(WA-9000)

真空アライメント機能付き陽極接合装置(型式:WA-9000)
  • 真空中でサブミクロンのアライメント精度を達成
  • 表面活性化接合/陽極接合/樹脂接合など、あらゆる接合方式に対応が可能(一部オプション)
  • 量産用CTCフルオートシステムにグレードアップ可能
特長
  1. ピエゾアクチュエータと赤外線透過画像処理により、真空チャンバー中でサブミクロンのアライメントを達成します。
  2. 真空チャンバー中でアライメント→加熱加圧接合までを一括して行うことにより、位置ずれを起こしません
  3. 上下からの同時ヒーティングプロファイルにより、そりを抑えた接合が可能です。
  4. 自動平行調整機能の採用により、接触時の位置ズレをおさえ、かつ均一な荷重をキープします。(特許申請中)
  5. CTC搬送ロボットシステムを追加することでフルオート化可能。プラズマチャンバーとのドッキングも可能。
真空中アライメント構造図 加熱加圧成型図
≪システム協力会社≫
bondtech ボンドテック株式会社