ピエゾアクチュエータと赤外線透過画像処理により、真空チャンバー中でサブミクロンのアライメントを達成します
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ホーム > 製品情報 > 接合 > 真空アライメント機能付き陽極接合装置ウエハーアライナー(WA-9000)
Bonding System ウエハーアライメント接合装置(型式:WA-9000)
ウエハー真空封止用陽極接合装置
部品製作・加工
システム商品・装置

超真空Arボンバードメントアライメント接合機(WAP-1000)

真空アライメント機能付き陽極接合装置(型式:WA-9000)  
特長
  • 超高真空中でのArボンバードメント(FAB)により表面活性化した異種材料同士を接合します。
  • プラズマチャンバーと連結することでプラズマ表面活性化処理によるSiやガラスの接合AuやCuの大気中接合が可能となります。
  • 特異処理により超高真空レベルの低下と大面積での均一な表面処理を達成します。
    6軸方向ピエゾアライメントシステムとIR透過画像処理により、真空チャンバー中でサブミクロンのアライメントを達成します。
  • C2C〜WOWに対応します。