めっき液やエッチング液など、表面処理液の成分分析･補給を自動化します！
半導体や電子部品、自動車部品などの生産工程で使用される、めっき液やエッチング液といった処理液の成分分析･補給を行う装置です。
処理液中の各成分を、中和滴定法／酸化還元滴定法によって分析。分析後、不足している成分がある場合は必要に応じて補給信号を出力し、試薬の自動補給を行います。
システム構成例
LTAS1がめっき液槽から直接サンプリングを行い、成分分析を行います。試薬液の補給はLTAS1が定量ポンプを動作させることもできますし、既設の動力制御盤があればそこに接続することもできます。
主な処理液と分析項目
電子部品・半導体関連処理液
| 処理液 | 分析項目 |
|---|---|
| エッチング液 | H₂SO₄･Cu･H₂O₂ |
| 特殊無電解銅めっき液 | Cu･NaOH･HCHO･EDTA |
| 硫酸銅めっき液 | CuSO₄･H₂SO₄･Cl |
| 黒化処理液 | NaOH･NaClO₂ |
| pHコントロール液 | アルカリエッチング（pH） |
表面処理関連処理液
| 処理液 | 分析項目 |
|---|---|
| リン酸皮膜処理液 | 全酸･遊離酸･促進剤 |
| クロメート処理液 | Cr･遊離酸 |
| 無電解ニッケルめっき液 | Ni･pH |
| 現像液 | KOH･K₂CO₃ |
| 銀めっき液 | Ag･F-CN |
製品仕様
| 機種名 | 液管理装置 LTAS1 |
| 操作 | 内蔵タッチパネルPC |
| 外形寸法 | W400 × D450 × H1260mm |
| 重量 | 約60kg |
| 電源 | AC100V 3A 50/60Hz |
| インターフェイス | Ethernet（オプション） |
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［LTAS1］
