半導体ウェハに回路を描画する露光装置に使用される、光学ユニット用のベースプレートです。

マシニング加工による削り出しのみで仕上げました。

材料アルミニウム合金(A5052)
外形寸法80 × 147.5 × 8 mm
精度平行度:±0.05mm
直角度:±0.05mm
穴径交差:H6
加工内容マシニング加工
黒アルマイト処理

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