車載部品業界

小型の筐体とAC100V駆動により、設置場所を選ばないNC加工機です。
広いストロークが特長で、金属や脆性材、セラミックスの加工にも対応。標準フルカバー仕様で乾式・湿式両加工に対応しています。

卓上に設置できる小型筐体が魅力のNC加工機です。
小型には稀有な±3µmの繰り返し精度で、ガラスやシリコンなど脆性材の微細加工に最適。
大学や研究機関のR&D用途に多く活用されているモデルです。

アライメントカメラを搭載し、画像処理によるオフセット加工を可能にしたCNC加工機です。
高剛性の鉄鋳物筐体により、繰り返し精度は±1.5µm以下。
ATCも標準装備し、追加工に最適なモデルです。

マスクレス露光で半導体ウェハ上にパターンを直接描画する装置です。
最大12インチウェハに対応。標準搭載のファイン露光モードを使えばジャギを改善でき、斜線や曲線のデータ再現性が大きく向上します。

密封時に使用されるOリングをスムーズに挿入するための自動機です。
独自開発のセンタリング機構で挿入姿勢を安定させ、高速挿入を実現。作業者の熟練度に依らず、生産性の向上と品質の安定化が図れます。

半導体や電子部品などの生産工程で使用される処理液の成分分析･補給を行う装置です。
処理液中の各成分を分析し、不足している成分がある場合は自動で試薬の補給を行うため、製品品質の安定化が図れます。