小型加工機から自動化システムまで
ステージユニットをはじめ、様々な材料に微細加工を行うことができる小型加工機や、半導体製造に使用されるマスクレス露光装置、食品･バイオ業界向けの自動化システムなど、あらゆる業界分野でお使いいただける機械･装置を設計･製造しています。
ご要望に応じたFA機器や各種自動機の開発も実績がありますので、まずはお気軽にご相談ください。
取扱製品ラインアップ
Products Line-up
超精密ステージユニット
アルミナセラミックを使用したエアスライドを搭載し、ナノオーダーの高分解能位置決めを実現（*）。
ウエハ検査装置や露光装置など、高い位置決め精度や繰り返し精度を必要とする装置にお使いいただけます。
エアスライド単体の販売からステージユニットの製造まで、お気軽にお問い合わせください。
（*）位置決め精度／繰り返し精度はステージの構成やご使用環境によります。ご希望の精度を実現するためのご提案を行いますので、まずはお気軽にご相談ください。
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小型NC加工機
Micro MCシリーズは、小型には稀有な高い加工精度を持つNC加工機です。
乾式・湿式両対応で樹脂はもちろんセラミックや金属、ガラスやシリコンなどの脆性材に至るまで微細加工が可能。
ご要望に応じて、カスタマイズのご相談も承ります。
| 加工対象 | 樹脂、セラミック、金属、脆性材各種 |
| 主軸回転数 | 1,000～60,000rpm（全モデル共通／可変） |
| オプション | ATC（自動工具交換）、高精度アライメントカメラ、θ軸追加 等 （一部対応できないモデルもあります） |
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マスクレス露光装置
DMDを使用した直接描画により、半導体デバイスの試作に要する費用とサイクルタイムを大幅に削減します。
ウェハサイズやL/Sなど、用途に応じてお選びください。
| 対応ウェハ | ～12インチ *12インチ以上もオプション対応可 |
| 描画方式 | DMDを使用したステップ／スキャン方式による直接描画 |
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フードプリンター
メカトロニクス
あらゆる業界分野の製造･検査工程を対象に、オリジナル自動機の開発やOEMを行っています。
Oリングスマート挿入機［Smart-O］は、独自開発のセンタリング機構によって、密封時に使用されるOリングの挿入をスムーズに行う自動機。
Oリングの供給から対象部品への挿入までを自動で行うため、生産性の向上と品質の安定化を図ることができます。
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ライフサイエンス向け自動化システム
埼玉県入間市にある当社関東事業所（旧･株式会社ライフテック）では、秤量・分注・振とうなど多岐にわたる要素技術を組み合わせ、微生物検査前処理装置など、ライフサイエンス分野の自動化を支援する様々なシステムを設計・製造しています。
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表面活性化接合装置
イオンや原子によって表面の酸化膜や付着物を除去することで、半導体ウェハやチップなどの接合を行う装置です。
独自の高精度アライメント技術により、±2µm以下の高い貼り合わせ精度を実現。
常温や低温で接合することができるため、化合物半導体など熱膨張係数の異なる異種材同士の接合に活用されています。
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機械･装置事業関連トピックス
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真空ポンプオーバーホール
ポンプ本体の分解や洗浄はもちろん、不具合箇所の修理やパーツの交換、組み立て試験まで、長年のノウハウを持つ技術者が丁寧にメンテナンスを行います。
標準交換部品はベアリング、Oリング、オイルなどメーカーの標準交換部品に準拠した部品を全数交換。
対応機種はお気軽にお問い合わせください。
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