エアスライド･ステージ

空気静圧による完全非接触ガイドです。
摺動抵抗が極めて小さく、高速移動が可能。メンテナンスフリーで長く使用でき、高い真直度を維持できるため高精度な走行動作が求められる装置のステージに最適です。

非接触のエアスライドを使用するためダストの発生がなく、メンテナンスフリーで使用いただけるステージです。
ウエハ検査装置や露光装置など、高い位置決め精度や繰り返し精度を必要とする装置に最適です。

高精度フィードバックスケールとピエゾアクチュエータを搭載し、きわめて高い制御分解能と繰返し精度を実現した手のひらサイズの高精度ナノステージです。
レーザー光軸やレンズ調心などの用途に最適です。