マスクレス露光装置
マスクレス露光装置[D-light DL-1000]
マスクレス露光で半導体ウェハ上にパターンを直接描画する装置です。
256階調のグレースケール露光やレジストの三次元加工にも対応。ジャギ解消や露光分布の均一化など、高精細露光を追求した一台です。
ミニマル マスクレス露光装置
マスクレス露光で半導体ウェハ上にパターンを直接描画する装置です。
0.5インチのミニマルウェハに対応。焦点合わせやアライメントを全自動化し、スタートボタンを“押すだけ”の手軽さを追求しました。
マスクレス露光で半導体ウェハ上にパターンを直接描画する装置です。
256階調のグレースケール露光やレジストの三次元加工にも対応。ジャギ解消や露光分布の均一化など、高精細露光を追求した一台です。
マスクレス露光で半導体ウェハ上にパターンを直接描画する装置です。
0.5インチのミニマルウェハに対応。焦点合わせやアライメントを全自動化し、スタートボタンを“押すだけ”の手軽さを追求しました。