カメラアライメント機能付CNC微細加工機［Micro MC-5］

高精度アライメントカメラ搭載で追加工を効率化！
高い加工精度も魅力です！

上部のカメラがアライメントマークを認識することにより、画像処理によるアライメントマーク基準の微細加工を行う加工機です。

ATC（自動工具交換）も標準装備で、追加工にかかるサイクルタイムを大幅に削減できます。

※ミストコレクター、シグナルタワー、カメラ制御ボックスはオプションです

高剛性の鉄鋳物筐体がスピンドルに伝わる加工中の振動をキャンセルするため、高精度微細加工が可能。
さらに、スケールフィードバック機能を標準搭載することで、±1.5µm以下という高い繰り返し精度を実現しました。

貫通穴加工
材質：SUS630
形状：φ0.15mm/深さ4.5mm穴

貫通穴加工
材質：マシナブルセラミック
形状：φ0.043mm/深さ3mm穴

上部のカメラがワークのアライメントマークを認識することで、画像処理によるオフセット加工が可能です。

ワークのパターンを基準とすることで、エッチングやブラスト、フォトリソグラフィなどと組み合わせた加工が容易に。
広い有効ストロークを活かして、半導体基板（～12インチ）の追加工にもご使用いただけます。