半導体･電子部品業界
カメラアライメント機能付CNC微細加工機［Micro MC-5］
アライメントカメラを搭載し、画像処理によるオフセット加工を可能にしたCNC加工機です。
高剛性の鉄鋳物筐体により、繰り返し精度は±1.5µm以下。
ATCも標準装備し、追加工に最適なモデルです。
マスクレス露光装置［ME-120F］
マスクレス露光で半導体ウェハ上にパターンを直接描画する装置です。
最大12インチウェハに対応。標準搭載のファイン露光モードを使えばジャギを改善でき、斜線や曲線のデータ再現性が大きく向上します。
マスクレス露光装置［D-light DL-1000］
マスクレス露光で半導体ウェハ上にパターンを直接描画する装置です。
256階調のグレースケール露光やレジストの三次元加工にも対応。ジャギ解消や露光分布の均一化など、高精細露光を追求した一台です。
ミニマル マスクレス露光装置
マスクレス露光で半導体ウェハ上にパターンを直接描画する装置です。
0.5インチのミニマルウェハに対応。焦点合わせやアライメントを全自動化し、スタートボタンを“押すだけ”の手軽さを追求しました。
Oリングスマート挿入機
密封時に使用されるOリングをスムーズに挿入するための自動機です。
独自開発のセンタリング機構で挿入姿勢を安定させ、高速挿入を実現。作業者の熟練度に依らず、生産性の向上と品質の安定化が図れます。
硫酸銅めっき液添加剤測定装置［LT8900CVS］
半導体やプリント基板などの製造工程で使用される硫酸銅めっき液添加剤の有機成分を測定・補給する装置です。
CVS法によって添加剤濃度を測定し、自動で補給を行うため、製品の歩留まり向上が図れます。