セラミックス

研削加工
炭化ケイ素研削加工［熱圧着用部品］

熱圧着用の部品です。
平面研削盤およびマシニングセンターによる精密研削に加え、上面のラッピング加工を実施することで、超鏡面仕上げと高い平坦度を実現しました。

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研削加工
窒化アルミ研削加工［プレート］

半導体製造装置に使用される窒化アルミ（AlN）のプレートです。
平面研削盤、グライディングセンターで研削と切削を行い、表面をLAP研磨しています。

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研削加工
炭化ケイ素研削加工［装置部品］

半導体製造装置に使用される部品です。
平面研削盤、グライディングセンターで研削加工と切削加工を行ったあと表面をLAP研磨。平行度・平面度は各3µm以内です。

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研削加工
窒化アルミ研削加工［装置部品］

加工機に使用される部品です。
加工費を安価に抑えるため、グライディングセンターを使用せず、平面研削盤のみで加工しています。

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研削加工
ジルコニア研削加工［装置用治具］

検査装置用の治具部品で、製品をセットして正確に位置決めを行います。
ジルコニア素材にφ0.2mmの穴を10カ所以上加工できる高度なマシニング技術を採用し、高精度な検査環境を実現します。

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研削加工
ジルコニア研削加工［検査治具］

溝加工の精度を30µm以下で保証し、厚み加工を含む研削技術を結集した高精度部品です。
平面研削盤が実現する精度は折り紙付きで、安定した製作が可能です。

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