研削加工

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超硬合金研削加工［極細ピン］

金型のパンチとして使用される極細の超硬ピンです。
センタレス研削加工機で外周を加工し、先端形状をナノマシニングセンターで加工します。

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炭化ケイ素研削加工［熱圧着用部品］

熱圧着用の部品です。
平面研削盤およびマシニングセンターによる精密研削に加え、上面のラッピング加工を実施することで、超鏡面仕上げと高い平坦度を実現しました。

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超硬合金研削加工［パンチ］

金型のパンチとして使用される超微粒子超硬部品です。
平面研削盤による精密研削とプロファイル研削により、外形公差1000分台（1µm単位）で加工を行うことができます。

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超硬合金研削加工［ベース］

電子部品製造装置に使用される治具部品です。
幅0.2×深さ0.5mm溝を、形状・ピッチともに±2µmの精度で精密に研削加工しています。

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窒化アルミ研削加工［プレート］

半導体製造装置に使用される窒化アルミ（AlN）のプレートです。
平面研削盤、グライディングセンターで研削と切削を行い、表面をLAP研磨しています。

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炭化ケイ素研削加工［装置部品］

半導体製造装置に使用される部品です。
平面研削盤、グライディングセンターで研削加工と切削加工を行ったあと表面をLAP研磨。平行度・平面度は各3µm以内です。

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