高剛性CNC微細加工機[Micro MC-3]

高剛性の鉄鋳物筐体が、加工中の振動がスピンドルに伝わるのを防ぐため、±1µmの繰り返し位置決め精度を実現。
難削材や脆性材の微細穴加工、細溝加工といった精度本位の精密加工を得意とするモデルです。

カメラアライメント機能付CNC微細加工機[Micro MC-5]

アライメントカメラを搭載し、画像処理によるオフセット加工を可能にしたCNC加工機です。
高剛性の鉄鋳物筐体により、繰り返し精度は±1.5µm以下。
ATCも標準装備し、追加工に最適なモデルです。

マスクレス露光装置[ME-120F]

マスクレス露光で半導体ウェハ上にパターンを直接描画する装置です。
最大12インチウェハに対応。標準搭載のファイン露光モードを使えばジャギを改善でき、斜線や曲線のデータ再現性が大きく向上します。

マスクレス露光装置[D-light DL-1000]

マスクレス露光で半導体ウェハ上にパターンを直接描画する装置です。
256階調のグレースケール露光やレジストの三次元加工にも対応。ジャギ解消や露光分布の均一化など、高精細露光を追求した一台です。

ミニマル マスクレス露光装置

マスクレス露光で半導体ウェハ上にパターンを直接描画する装置です。
0.5インチのミニマルウェハに対応。焦点合わせやアライメントを全自動化し、スタートボタンを“押すだけ”の手軽さを追求しました。

卓上型ワンパス式フードプリンター[DTP-150C]

可食インクを使用し、食品の上に印刷を行うフードプリンターです。
設置場所を選ばない卓上サイズの筐体とシンプルな操作性が魅力。ワンパス式を採用することで、最大20m/minの高速印刷が可能です。