小型ナノステージ［nano-UP］

レーザー光軸やレンズの調心に！この小ささ、薄さでナノメートルオーダーの超精密位置決めが可能です！

nano-UP シリーズは、高精度フィードバックスケールとピエゾアクチュエータを搭載することで、きわめて高い制御分解能と繰返し精度を実現した手のひらサイズの高精度ナノステージです。

ステッピングモーター（粗動）とピエゾ（微動）の高速切替えにより、ナノオーダーでのスムーズな位置決めを実現。
ラインアップは、1軸ステージ、θステージ、傾斜ステージの3種類4モデルあり、ご使用の用途に応じて自由に組み合わせ頂けます。

カスタマイズ等のご相談も承りますので、お気軽にご相談ください。

1軸ステージを2台重ねれば超小型X-Yステージとなり、2 方向の動作が可能です。

1台約 25mm の薄さなので、複数台重ねて使用することができます。

θ× 傾斜ステージの組み合わせ。

光軸調整など、精密な角度制御が必要とされる用途に最適です。

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