超精密ステージ

セラミックエアスライド使用だからメンテナンスフリー！
ナノメートルオーダーの真直度・位置決め精度を実現できます！

ピーエムティーでは、ウエハ検査装置や露光装置など、高い位置決め精度や繰り返し精度を必要とする装置にお使いいただける、超精密ステージの製作を行っています。

高い真直度・位置決め／繰り返し精度を実現

非接触のエアスライドを使用することでダストが発生することもなく、メンテナンスフリーでご使用いただけます。

また、超高精度に製作されたファインセラミックス製のガイドを使用し、精密恒温環境で組立・調整を行うことで、ナノメートルオーダーの位置決め／繰り返し精度と、極めて高い運動精度を実現しています^（*）。

（*）位置決め精度／繰り返し精度はステージの構成やご使用環境によります。ご希望の精度を実現するためのご提案を行いますので、まずはお気軽にご相談ください。

ステージ製作実績

駆動方式	粗動：ボールねじ 微動：PZT（ピエゾ）
エンコーダー	光学式リニアエンコーダ―
ストローク	X, Y: 10mm　Z: 5mm
繰り返し精度	X, Y, Z: ±0.01µm以下

セラミックス製X-Y-Z-θ エアスライドステージ

エンコーダ―	X, Y: レーザー干渉計 Z, θ: 光学式リニアエンコーダ―
ストローク	X, Y: 300mm　Z: 7mm
位置決め精度	X, Y: ±1.0µm/300mm
繰り返し精度	X, Y: ±0.1µm
真直度	X, Y: ±0.2µm/300mm以下
直交度	X, Y: ±0.5µm/300mm以下

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